IKO


특장점

1

컴팩트한 XYθ 테이블

• 직동내부에는 리니어웨이L,

    회전안내부에는 크로스롤러 베어링을 사용

• 코어레스 리니어 모터로

    지극히 낮은 단면 높이를 실현!

    모델 중 최소높이 52mm!

2

고 분해능, 고 응답

• 고 분해능 리니어 엔코더를 내장한

    다이렉트 드라이브 방식의 스테이지

    풀 크로즈드 루프 제어하여 고분해능과

    고정밀도를 실현

얼라이먼트 스테이지 SA 스펙일람

형식과 크기

SA65DE/X

SA120DE/X

SA200DE/X(1)

SA65DE/S

SA120DE/S

SA200DE/S

단면 형상

최대 추력 (N)

25
70
400
최대 토크

0.5N·m

최대 토크

2.0N·m

최대 토크

4.0N·m

정격 추력 (N)

3.5

15
70
정격 토크
0.06N·m
정격 토크

0.4N·m

정격 토크

1.2N·m

최대 가반 질량 (kg)

2.4
5.9
30.0
2.2
6.8
12.3

유효 스트로크 (mm)

10
20
25
유효 동작 각도
50도
유효 동작 각도

60도

유효 동작 각도

280도

분해능(μm)

0.1
0.5
0.1
0.5
0.1
0.5
0.64초

5625pulse/도

0.36초

10000pulse/도

0.25초

14400pulse/도

최고 속도 (mm/s)

270
500
400
800
400
800
720도/s
400도/s
270도/s

반복 위치 결정 정밀도 (μm)

±0.5

±0.5

±0.5

±1.3초
±0.8초
±0.5초

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