Liner Motor SA
특장점
얼라이먼트 스테이지 SA 시리즈
컴팩트한 XYθ 테이블• 직동내부에는 리니어웨이L,
회전안내부에는 크로스롤러 베어링을 사용
• 코어레스 리니어 모터로 지극히 낮은
단면 높이를 실현! 모델 중 최소높이 52mm!
고 분해능, 고 응답
• 고 분해능 리니어 엔코더를 내장한 다이렉트
드라이브 방식의 스테이지 풀 크로즈드 루프
제어하여 고분해능과 고정밀도를 실현
컴팩트한 XYθ 테이블
• 직동내부에는 리니어웨이L,
• 코어레스 리니어 모터로
지극히 낮은 단면 높이를 실현!
모델 중 최소높이 52mm!
• 고 분해능 리니어 엔코더를 내장한
다이렉트 드라이브 방식의 스테이지
풀 크로즈드 루프 제어하여 고분해능과
고정밀도를 실현
얼라이먼트 스테이지 SA 스펙일람
SA65DE/X
SA120DE/X
SA200DE/X(1)
SA65DE/S
SA120DE/S
SA200DE/S
최대 추력 (N)
0.5N·m
2.0N·m
4.0N·m
3.5
0.4N·m
1.2N·m
최대 가반 질량 (kg)
유효 스트로크 (mm)
60도
280도
분해능(μm)
5625pulse/도
10000pulse/도
14400pulse/도
최고 속도 (mm/s)
반복 위치 결정 정밀도 (μm)
±0.5
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